Ätzverfahren

Ätzverfahren mit schwingungsangeregtem SF6.

Etching process with vibrationally excited SF6.

Trockenes Ätzverfahren für eine Siliziumnitridschicht.

Process for dry etching a silicon nitride layer.

Dies geschieht vorzugsweise durch ein geeignetes Ätzverfahren.

This is preferably done by means of a suitable etching method.

Ätzverfahren und Ätzsignalschicht zur prozessierung von halbleiterwafern

etch process and etch stop layer for manufacturing of semiconductor wafers

So können wirtschaftliche Laser- und Ätzverfahren zur Fertigung eingesetzt werden.

Thus economical laser and etching processes can be used for their production.

Gleiches gilt für die Ätzverfahren zum isotropen und anisotropen Ätzen von Sio und Si N .

The same applies to the etching processes for the isotropic and anisotropic etching of SiO.sub.2 and Si.sub.x N.sub.1-x.

Verfahren zur globalen Planarisierung mit selbstjustierendem Polier- oder Spacerprozess und isotropischem Ätzverfahren

Global planarization using self aligned polishing or spacer technique and isotropic etch process

Die träge Masse wird bei solchen Vorrichtungen mit den in der Mikrostrukturtechnik üblichen anisotropen Ätzverfahren gefertigt.

In such instruments, the inert mass is prepared with conventional anisotropic etching processes customary in microstructure technology.