Abscheiderate

Dieses innovative Gerät erzielt eine ausserordentlich gute Abscheiderate bei Feinstdispersionen (1 µm).

This innovative device attains an extraordinarily good separation rate of fine dispersions (1 µm).

Das Vorgehen nach Anspruch 12 erhöht die Abscheiderate der Polymerisationsschicht sowie die Reproduzierbarkeit ganz beträchtlich und ist in vielen Fällen ausschlaggebend für die Verwendbarkeit des Verfahrens.

The procedure according to claim 12 considerably increases both the deposition rate of the polymerization coating and the reproducability and in many cases is decisive for the applicability of the procedure.

mit eingebautem Monitor zur rechnergesteuerten Überwachung der Abscheiderate bei einer Schicht aus zwei oder mehreren Elementen, wobei das Verfahren auf dem Prinzip der Fotolumineszenz der ionisierten Atome im Dampfstrahl beruht;

a computer controlled rate monitor operating on the principle of photo-luminescence of the ionised atoms in the evaporant stream to control the deposition rate of a coating containing two or more elements;