Ansprüche

Einkristalliner Siliciumwafer, hergestellt durch ein Verfahren der Ansprüche 1 bis 5. Einkristalliner Siliciumwafer nach Anspruch 6, bei welchem die Kristalldefektdichte auf der Oberfläche des Wafers einer Anzahl von 10/cm 2 oder weniger entspricht.

A silicon single crystal wafer produced by a method of Claims 1 to 5.

Ansprüche stellen

Make demands

Wechselseitige Ansprüche

Reciprocal Claims

Für ihre Ansprüche kann ich ihnen defintiv XXX empfehlen.

For their claims, I can definitely recommend them XXX.