Interferometer

Alternativ kann das Sonden-Interferometer Sl auch als Mirau-Interferometer realisiert werden, wie zeigt.

[0049] Alternatively, probe interferometer SI may also be implemented as a Mirau interferometer, as shown by FIG. 7.

Als weiteres Ausführungsbeispiel kann das Common-Path-Interferometer in Mirau-Anordnung auch ohne Modulations-Interferometer MI verwirklicht werden.

[0052] As a further exemplary embodiment, the common-path interferometer may be implemented in the Mirau set-up, also without modulation interferometer MI.

Die vier in den jeweiligen Wellenlängen getrennten Lichtsignale verlassen dann das Interferometer über vier Wellenleiter 33 bis 36, die am zweiten Freibereich 3 des Interferometers angeschlossen sind.

The four light signals separated into the respective wavelengths then leave the interferometer via four waveguides to which are connected at the second free space region of the interferometer.

SPR INTERFEROMETER

SPR INTERFEROMETER

OPTISCHES INTERFEROMETER

OPTICAL INTERFEROMETER

MICHELSON INTERFEROMETER.

MICHELSON INTERFEROMETER.

Phasenmoduliertes Interferometer.

Phase-modulated interferometer.

Phasenmoduliertes Interferometer II.

Phase modulation interferometer II.