Ionenimplantation

Ionenimplantation mehrfach geladene Ionen

Ion implantation multiply charged ions

b) Ausrüstung, konstruiert für Ionenimplantation, mit einer der folgenden Eigenschaften:

Equipment designed for ion implantation, having any of the following:

b) Herstellungsausrüstung für die Ionenimplantation mit Strahlströmen größer/gleich 5 mA;

ion implantation production equipment having beam currents of 5 mA or more;

G)Ionenimplantation | Hochwarmfeste Lagerstähle | Zusatz von Chrom, Tantal oder Niob (Columbium) |

G.Ion Implantation | High temperature bearing steels | Additions of Chromium Tantalum or Niobium (Columbium) |

Stattdessen kann der Kathodenbereich 3 auch durch Ionenimplantation nach der Erzeugung der Gatebereiche 8 durch Diffusion von Bor, Al, Ga oder dgl. erzeugt werden.

Instead, the cathode region 3 can also be generated by ion implantations after creation of the gate regions 8 by diffusion of boron, Al, Ga or similar.

Ein Verfahren nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, bei dem die Fehlordnung durch Ionenimplantation bewirkt wird, gefolgt von einer thermischen Behandlung, die durch den zweiten Epitaxialschritt ausgeführt wird.

A process as claimed in claim 1 or claim 2, wherein the disordering is effected by ion implantation, followed by thermal processing that is conducted by the said second epitaxy step.

g) Ionenimplantation ist ein oberflächenveränderndes Beschichtungsverfahren, bei dem das zu legierende Element ionisiert, durch ein Spannungsgefälle beschleunigt und in die Oberfläche des Substrats implantiert wird.

Ion Implantation is a surface modification coating process in which the element to be alloyed is ionised, accelerated through a potential gradient and implanted into the surface region of the substrate.