Silizium-Wafer

Epitaxialer Silizium-Wafer und Herstellungsverfahren dafür

Epitaxial silicon wafer and fabrication method thereof

Beispielsweise kann dazu eine Belichtungsmaschine verwendet werden und das Bauteil in der sonst für Silizium-Wafer vorgesehenen Position fixiert werden.

For example, an exposure machine can be used for this purpose and the component held in the position otherwise intended for silicon wafers.

Das mit der Klebstoffschicht versehene mikrostrukturierte Bauteil wird in einer modifizierten Belichtungsmaschine an der Stelle fixiert, an welcher üblicherweise ein Silizium-Wafer liegt.

[0076] The microstructured component provided with the adhesive layer is held in a modified exposure machine at the point at which a silicon wafer is usually located.