Verschiebungsmessung

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KAPAZITÄTSMESSUNG UND KAPAZITIVE VERSCHIEBUNGSMESSUNG.

METHOD AND APPARATUS FOR MEASUREMENT OF CAPACITANCE AND FOR CAPACITIVE MEASUREMENT OF DISPLACEMENT.

Apparat zur Verschiebungsmessung eines Gegenstandes unter Verwendung eines Beugungsgitters.

Apparatus for measuring displacement for object using diffraction grating.