hindurchgeleitet

Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Gase während der Plasmabehandlungsschritte mit einer Geschwindigkeit von 100 bis 10000 sccm pro m 2 behandelter Oberfläche durch die Kammer hindurchgeleitet werden.

The method according to claim 1, wherein said gases during the plasma treatment steps are channelled through said chamber with a speed from 100 to 10000 sccm per m 2 .