photoelektrisch

Gemäß dem Stand der Technik werden aus der am Interferometerausgang erzeugten Differenzstruktur photoelektrisch zwei Signale mit einer gegenseitigen Phasenverschiebung von 90° zur Erkennung der Bewegungsrichtung des Meßspiegels abgeleitet.

In accordance with the state of the art, two signals with a mutual phase shift of 90° are photoelectrically derived from the differential structure produced at the interferometer exit to detect the direction of movement of the measuring mirror.