wasserstoffhaltiger

Verfahren zur Oberflächenbehandlung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß in der dritten Stufe auf dem Körper ein wasserstoffhaltiger amorpher Siliziumnitridfilm gebildet wird.

The method of surface treating according to claim 11, characterized in that in said third step a hydrogen-containing, amorphous silicon nitride film is formed on said body.