die Decklage

Mikroventil nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die erwähnte Decklage (9) im wesentlichen aus PYREX-Glas besteht, alle übrigen Lagen (3, 5, 7) im wesentlichen aus Silizium bestehen.

Microsoupape selon la revendication 15, caractérisée en ce que la couche de couverture (9) est constituée essentiellement de verre PYREX, et en ce que toutes les autres couches (3, 5, 7) sont constituées essentiellement de silicium.

einrichtung zur erkennung der ablegereife nach anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine decklage (7) mit gegenschlag auf einen parallelverseilten seilkern verseilt ist.

dispositif pour détecter l'état d'usure de remplacement selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu' une couche de recouvrement (7) est toronnée en sens inverse sur une âme de câble à toronnage parallèle.