die Röntgenstrahlung

Erfindungsgemäss wird in-situ die vom Verdampfungsmaterial am Auftreffort des Elektronenstrahls emittierte Röntgenstrahlung gemessen.

Selon l'invention, le rayonnement X qu'émet le matériau de dépôt au point de rencontre avec le faisceau d'électrons est mesuré in situ.