mechanical cleaning methods

Grit blasting is the most widely used method of mechanical cleaning.

Sandstrahlen ist die am weitesten verbreitete Methode der mechanischen Reinigung.

METHOD AND SYSTEM OF CLEANING A WAFER AFTER CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OR PLASMA PROCESSING

VERFAHREN UND SYSTEM ZUR REINIGUNG EINES WAFERS NACH CHEMISCH- MECHANISCHEM POLIEREN ODER PLASMABEHANDLUNG

In this method a carrier to which a liquid, chemically active cleaning agent has been applied is moved on the floor covering by mechanical force.

Bei diesem Verfahren wird ein Träger, auf dem ein flüssiges, chemisch wirkendes Reinigungsmittel aufgebracht ist, unter Aufwendung mechanischer Kraft auf dem Bodenbelag bewegt.