testpiece

crescent shaped testpiece

nierenfoermiges Muster

Because of the necessary low electron energy of the scanning electron beam, electrical and magnetic fields produced by the testpiece also have a disruptive effect.

Aufgrund der erforderlichen niedrigen Elektronenenergie des abtastenden Elektronenstrahles wirken sich ferner elektrische und magnetische Felder, die durch die Probe erzeugt werden, störend aus.